ประวัติบริษัท

Rapid Thermal Processors

§WaferMasters, Inc. บริษัทเวเฟอร์มาสเตอร์ ใช้ระบบที่

     ออกแบบจากการต้านทานความร้อน เป็นเทคโนโลยีเตาอบ 

     ขนาดเวเฟอร์เดี่ยว (Single wafer) ที่สามารถทำความร้อนได้

     ดีสำหรับเครื่องเร่งความร้อนสูงถึง 1150 องศาเซลเซีส

 

§ระบบถูกสร้างมาเพื่อใช้ในกระบวนการทำงานซ้ำๆ

     และมีความเสถียรภาพโดยมีต้นทุนที่ต่ำ มีคุณสมบัติ

     ที่หลากหลายเพื่อใช้กับงานความสะอาดตามความ

     ต้องการใช้